Khu Công nghệ cao Hòa Lạc theo quy hoạch điều chỉnh (tháng 5-2008) được Thủ tướng Chính phủ phê duyệt có tổng diện tích gần 1.590 ha. Hiện khu công nghệ cao Hòa Lạc cấp giấy chứng nhận đầu tư cho 31 dự án với tổng vốn đầu tư gần 690 triệu USD trên diện tích đất hơn 100 ha, trong đó, một nửa là của Khu công nghiệp bắc Phú Cát cũ.
Để chuẩn bị tốt cho công tác giải phóng mặt bằng, Khu công nghệ cao Hòa Lạc hoàn thành việc xây dựng khu tái định cư thứ nhất đáp ứng cho khoảng 150 hộ dân và đang triển khai xây dựng khu thứ 2 đáp ứng cho khoảng 700 hộ dân, dự kiến hoàn thành trong quý I năm tới.